傅利葉變換紅外光譜分析儀

描述

MKS MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發(fā)現(xiàn)MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操作簡便，易于維護。

MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護的2102傅利葉變換紅外制成分光計，高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MultiGas™6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。

傅利葉變換紅外光譜分析儀特點和優(yōu)點

l10ppb-100%靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體

l易于移動從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘

l同時分析和顯示多達30種氣體

l分析儀儲存了校準光譜，省去了氣體筒的成本

l取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度

l保護的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準條件下

l頻率和分辨率診斷，確保校準恒定

l提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度

l用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓即可操作

傅利葉紅外光譜分析儀應(yīng)用

l煙囪監(jiān)測器

l工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化

l空氣環(huán)境分析

l氣體純度分析

l燃燒排放監(jiān)測

l選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測

光譜分析

Multigas的分析器有個具有定量和多功能的分析軟件，它能同時分析和報道許多混合物的濃度，這個能在個人電腦上運行的軟件，能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的變化進行自動修正。樣本的收集和分析在一秒內(nèi)完成，進行瞬時分析。

殘留光譜：除去樣本示范的校準

整個數(shù)據(jù)整理過程中，MultiGas 軟件一邊計算SETUP里面選擇氣體的濃度，一邊不斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷史的圖表和列表形式，測得的光譜和殘余光譜。這個殘余光譜能被用來確定分析的誤差，使得QA/QC變得簡單和真實。當解決了所有被提及的光譜后，殘留光譜就描繪“剩余的"光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存，這些光譜可以在任何時候利用同樣或不同的零點設(shè)定進行再工藝。

工藝的時間線

半導體堆的紅外光譜：樣品(白)，校準(有顏色的) MultiGas 6030能同時區(qū)分相似的分子

對應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計，2102傅利葉變換紅外分光計是緊湊和粗糙的，能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作，是可用的處理FTIR方式中最快速，靈敏和穩(wěn)定的！另外，它能在在惡劣環(huán)境下操作，具有對高溫，振動和溫度變化的免疫。更可貴的是，高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是標準的，為分析提供低噪音的紅外光譜。

2102  傅立葉變換紅外分光計

這個分光計連接到一個小體積(200mL) 多變換，有5.11米有效通道的取得zl權(quán)的氣室，這個氣室的zl設(shè)計結(jié)合了非球面的，非端正的鏡子，它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學吞吐量。做為選擇，一個單變換的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強吸收率的氣體，任何一種氣室在環(huán)境溫度到191℃之間操作。

5.11米光路，200毫升，長通道測量氣室8-1/2"x 2"x 3-1/2",運用zl的非端正光學以達到最大的靈敏性

儀器的自主校準

MultiGas 的軟件有多點校準圖，能提供一個動態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級.許多核數(shù)的校準都由其提供，另外，用戶也可以通過已知的濃度來進行校準。MultiGas 軟件檢驗每個工具的性能的效用，使它能把一個已經(jīng)在一臺機器上校準的的值用于其他任何一臺機器上，而且不用變更。

傅利葉變換紅外光譜分析儀規(guī)格

分析儀主機

l測試技術(shù)：傅利葉變換紅外光譜

l可測試氣體或水蒸氣:絕大多數(shù)分子除了氮氣，氧氣和氫氣

l  范圍:濃度從10ppb到100%

l  傅利葉變換紅外:2102制成傅利葉變換紅外

l 光譜分辨率:0.5-128cm-1

l  掃描速度：每秒1次在0.5cm-1

l     掃描時間：1 - 300秒

l    紅外源：碳化硅在1200℃

l   參考激光：氦氖（15798.2cm-1

l  檢測器：液氮冷卻MCT或半導體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）

l 清潔(Purge)壓力：最大20PSI(1.5bar)

l    光譜室Purge流量：0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣

l   光學系統(tǒng)Purge流量：0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣

l  壓力傳感器：MKS Baratron®電容式薄膜壓力傳感器

l     Purge連接：Swagelok®快速接頭

l   電腦要求：臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰®處理器,微軟Wingdows®XP操作系統(tǒng)，1024 X 768顯示

l       通訊口：RJ-45交叉以太網(wǎng)

l    輸出選件：XML，模擬，AK，其他

l      尺寸：445mm寬 × 318mm高 × 648mm深

l  安裝：可安裝于19英寸標準機柜

l  電源：110V或220V，50/60hz，3A

l  重量：50公斤

分析儀采樣參數(shù)

l    采樣溫度：室溫至200℃（取決于校準溫度）

l  采樣速流：0.2 –10升/分

l   采樣壓力：0.01 –4大氣壓（取決于校準壓力）

分析儀氣體室

l              結(jié)構(gòu) ：鍍鎳鋁，或316不銹鋼焊接選件

l             接頭 ：Swagelok®或VCR®

l            采樣壓力 ：1個大氣壓（取決于校準壓力）

l            管道：加熱不銹鋼

l            鏡：鋁襯底鎳板，鍍金

l            窗口：KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)

l        “O"型密封圈：Viton®，(其他可選)

檢測極限

5.11米氣室，MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下，下列典型氣體低檢測數(shù)據(jù)為：